金融界2025年1月1日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“狭缝阀装置及半导体设备”的专利，授权公告号CN222229649U，申请日期为2024年5月。 专利摘要显示，本实用新型提供了一种狭缝阀装置及半导体设备，包括：狭缝阀本体、第一气阀、封挡板以及驱动件；狭缝阀本体内设有前后贯通的通道；第一气阀设于狭缝阀本体的顶部且用于向通道内喷射气体；封挡板可转动地设于狭缝阀本体内；驱动件与封挡板驱动连接以驱动封挡板的打开和闭合，在封挡板闭合时，封挡板封挡于通道内且靠