发布日期:2025-01-15 05:43 点击次数:88
金融界2025年1月1日消息,国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司取得一项名为“狭缝阀装置及半导体设备”的专利,授权公告号CN222229649U,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种狭缝阀装置及半导体设备,包括:狭缝阀本体、第一气阀、封挡板以及驱动件;狭缝阀本体内设有前后贯通的通道;第一气阀设于狭缝阀本体的顶部且用于向通道内喷射气体;封挡板可转动地设于狭缝阀本体内;驱动件与封挡板驱动连接以驱动封挡板的打开和闭合,在封挡板闭合时,封挡板封挡于通道内且靠近第一气阀设置,以将通道分隔为相互独立的第一空间和第二空间,其中第一空间与所述第一气阀连通。本实用新型在封挡板闭合时,封挡板封挡于通道内,第一气阀只吹向其中空间而另一空间因门阀关闭可处于密闭状态,减少了气体在狭缝阀通道中形成的紊流,防止在门阀位置累积沉积物和外界颗粒,有利于腔体内流场的稳定性。
2024年11月12日,雅博股份(002323.SZ)公告称,公司大股东深圳市招平计划在本减持计划公告发布之日起15个交易日后的3个月内,通过集中竞价交易方式或大宗交易方式减持公司股份不超过6362.57万股,约占公司总股份比例3%。
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